高頻壓力傳感器是一種能夠測(cè)量高速變化的壓力信號(hào)的傳感器。它有多種類(lèi)型和結(jié)構(gòu)，其中一種常見(jiàn)的是MEMS壓力傳感器。
它的工作原理是：
壓力傳感器利用壓阻效應(yīng)原理，即當(dāng)材料受到應(yīng)力時(shí)，其電阻值會(huì)發(fā)生變化；
壓力傳感器采用三維集成電路工藝，在單晶硅片薄膜上制成四個(gè)應(yīng)變電阻，構(gòu)成一個(gè)惠斯通檢測(cè)電橋；
當(dāng)被測(cè)介質(zhì)施加壓力時(shí)，橋壁電阻值發(fā)生變化，產(chǎn)生一個(gè)差動(dòng)電壓信號(hào)；
這個(gè)信號(hào)經(jīng)專用放大和濾波處理后，輸出一個(gè)與壓力成正比的模擬或數(shù)字信號(hào)。
壓力傳感器具有體積小、重量輕、響應(yīng)速度快、靈敏度高等特點(diǎn)，適用于汽車(chē)、航空、醫(yī)療等領(lǐng)域的高頻動(dòng)態(tài)壓力測(cè)量。
